Hexametildisilazano (HMDS) LS-611/HMDS
CAS NO. 999-97-3
Utilizado como un adherente y fotorresistente en el proceso de fotolitografía del chip, fotorresistente, utilizado como estabilizador para el electrolito de la batería de litio, puede mejorar el rendimiento electroquímico y el rendimiento del ciclo de las baterías de iones de litio, y uso médico.